定制化低溫真空腔體
定制化低溫真空腔體
根據(jù)用戶實(shí)際需求，可定制各種規(guī)格低溫真空腔體
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根據(jù)用戶實(shí)際需求，可定制各種規(guī)格低溫真空腔體
1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；
2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進(jìn)樣門，鉸鏈機(jī)構(gòu)，移動(dòng)靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；
3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；
4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進(jìn)入10-6Pa；
7. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；
上一個(gè)：
晶圓測(cè)試探針臺(tái)
下一個(gè)：
綜合型分析探針臺(tái)
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