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綜合型分析探針臺(tái)

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綜合型分析探針臺(tái)

綜合型分析探針臺(tái)
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綜合型分析探針臺(tái)
型號(hào)LJH-6LJH-8LJH-12
外形820mm長(zhǎng)*720mm寬*890mm高960mm長(zhǎng)*850mm寬*900mm高1300mm長(zhǎng)*920mm寬*920mm高
重量170公斤約230公斤約300公斤
電力需求220VC,50~60Hz
樣品臺(tái)尺寸6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
行程X-Y行程6*6英寸X-Y行程8*8英寸X-Y行程12英寸*12英寸
移動(dòng)精度1um
樣品固定方式真空吸附
背電極測(cè)試功能有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺(tái)規(guī)格U型平臺(tái)，最多可放置6個(gè)針座U型平臺(tái)，最多可放置10個(gè)針座U型平臺(tái)，最多可放置12個(gè)針座
行程&調(diào)節(jié)方式平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
光學(xué)特性 顯微鏡行程X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
顯微鏡移動(dòng)精度1um
切換鏡頭方式顯微鏡快速傾仰30度    
放大倍數(shù)20~4000X
鏡頭規(guī)格目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
CCD像素50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機(jī)械精度10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度10pA/100fA     （配置屏蔽箱時(shí)）
接口形式香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向晶圓測(cè)試，光電器件測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試，高壓/大電流測(cè)試等
可選附件卡盤快速拉出裝置加熱臺(tái)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件
顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度）高低溫樣品臺(tái)射頻測(cè)試附件
顯微鏡氣動(dòng)升降裝置屏蔽箱有源探頭
激光微加工轉(zhuǎn)接頭低電流/電容測(cè)試
探針卡夾具防震臺(tái)兼容積分球測(cè)試選件
顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件鍍金卡盤光纖夾具耦合測(cè)試選件
液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝同軸叁軸卡盤封裝器件夾具
高壓/大電流測(cè)試套裝樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件PCB/封裝夾具測(cè)試選件
帶真空底座的活動(dòng)Chuck樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件特殊定制

特點(diǎn)
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
針座平臺(tái)可快速升降和微調(diào)，適合針卡測(cè)試大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試
高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試材料/器件的IV/CV特性測(cè)試



上一個(gè)： 定制化低溫真空腔體
下一個(gè)： 失效分析探針臺(tái)