晶圓測(cè)試探針臺(tái)
晶圓測(cè)試探針臺(tái)
晶圓測(cè)試探針臺(tái)擁有4-6個(gè)轉(zhuǎn)塔的金相顯微鏡，可安裝4個(gè)金相物鏡。其放大倍數(shù)，根據(jù)所選物鏡的倍數(shù)，通常由20～2000X不等。該系統(tǒng)常用于極小微尺寸的待測(cè)點(diǎn)的測(cè)試或激光應(yīng)用中。
晶圓測(cè)試探針臺(tái)配置了兼顧剛性和精度的基座，可進(jìn)行X-Y-Z三方向的精密定位。簡單直接的操作方法，可讓用戶列加專注于測(cè)試測(cè)量應(yīng)用于中去，而不是探針臺(tái)的操作。
晶圓測(cè)試探針臺(tái)配置了兼顧剛性和精度的基座，可進(jìn)行X-Y-Z三方向的精密定位。簡單直接的操作方法，可讓用戶列加專注于測(cè)試測(cè)量應(yīng)用于中去，而不是探針臺(tái)的操作。
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| 晶圓測(cè)試探針臺(tái) | |||||
| 型號(hào) | LJE-4 | LJE-6 | LJE-8 | LJE-12 | |
| 外形 | 580mm長* 620mm寬* 730mm高 | 640mm長* 700mm寬* 730mm高 | 660mm長* 660mm寬* 700mm高 | 1030mm長 *820mm寬* 730mm高 | |
| 重量 | 約70KG | 約80KG | 約85KG | 約180KG | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 4英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| X-Y行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| Z軸行程 | 6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)） | ||||
| 移動(dòng)精度 | 10um/1um | ||||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
| 背電極測(cè)試功能 | 有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 | ||||
| 針座平臺(tái) | U型平臺(tái)，最多可放置6個(gè)針座 | U型平臺(tái)，最多可放置8個(gè)針座 | U型平臺(tái)，最多可放置10個(gè)針座 | U型平臺(tái)，最多可放置12個(gè)針座 | |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | |||
| 顯微鏡移動(dòng)精度 | 1um | ||||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | ||||
| 放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | ||||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） | ||||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | ||||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
| 機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時(shí)） | ||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | ||||
| 應(yīng)用方向 | 芯片及LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。 | ||||
| 可選附件 | 顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） | 高低溫樣品臺(tái) | 光強(qiáng)/波長測(cè)試選件 | ||
| 顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 | 屏蔽箱 | 射頻測(cè)試附件 | |||
| 激光微加工 | 轉(zhuǎn)接頭 | 有源探頭 | |||
| 探針卡夾具 | 防震臺(tái) | 低電流/電容測(cè)試 | |||
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長測(cè)試接口部件 | 鍍金卡盤 | 兼容積分球測(cè)試選件 | |||
| 液晶漏電分析套裝 | 同軸叁軸卡盤 | 光纖夾具耦合測(cè)試選件 | |||
| 高壓/大電流測(cè)試套件 | 樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測(cè)試選件 | |||
| 加熱臺(tái) | 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | 特殊定制 | |||
| 特點(diǎn) | 1.顯微鏡龍門柱式設(shè)計(jì)，可使顯微鏡在平面內(nèi)移動(dòng)。 | ||||
| 2.顯微鏡可傾仰或氣動(dòng)升降，便于更換物鏡。 | |||||
| 3.可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用。 | |||||
| 4.同軸驅(qū)動(dòng)卡盤，移動(dòng)精度高。 | |||||
| 特點(diǎn) | |||||
| 緊湊的結(jié)構(gòu) | 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng) | ||||
| 實(shí)惠的價(jià)格 | 無回程差設(shè)計(jì) | ||||
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) | 1微米以上電極/PAD測(cè)試 | ||||
| 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測(cè)試 | ||||
| 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 | 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試 | ||||
上一個(gè)：
小型分析探針臺(tái)
下一個(gè)：
定制化低溫真空腔體
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