IVTPS-系列探針臺
IVTPS-系列探針臺
測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計精密，價格實惠，在高等院校 教學(xué)和
小型實驗室科研過程中得到廣泛運用。配合對應(yīng)的儀器儀表，可以用于
測試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內(nèi)，配合
特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實驗室。
VTPS-系列探針臺
產(chǎn)品簡介：
IVTPS-系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓
測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計精密，價格實惠，在高等院校 教學(xué)和
小型實驗室科研過程中得到廣泛運用。配合對應(yīng)的儀器儀表，可以用于
測試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內(nèi)，配合
特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實驗室。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
探針臺與顯示器一體化設(shè)計，大大減小了設(shè)備的占地空間
具備自適應(yīng)減震系統(tǒng)，一定程度上可防止外界震動的干擾
U 型平臺鍍鎳設(shè)計，不僅增大了針座的加載空間，還提高了針座平臺和針座之間的吸附力
詳細參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號 | IVTPS-100M | IVTPS-150M | IVTPS-200M | ||
探針臺本體 | 整機尺寸 （mm） | 450L*450W*520H | 500L*500W*520H | 550L*550W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | ||
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) ， 一定程度上可防止外界震動的干擾 | ||||
卡盤大小 | 4 英寸，360 度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 6 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | 8 英寸，360 度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | ||
卡盤行程和精度 | 4 英寸*4 英寸，精度 10um | 6 英寸*6 英寸 ，精度 10um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 10um | ||
卡盤材質(zhì) | 鍍金，具備更小的接觸電阻 | ||||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片） | ||||
背電極測試功能 | 卡盤鍍金，電學(xué)獨立懸空，帶4mm 香蕉頭插口，具備背電極功能 | ||||
針座平臺 | 材質(zhì) | U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強吸附力，帶接地端子 | |||
大小 | 最多可放置4個探針座 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | ||
顯示系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡（注意視場）+CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 16X~200X/60X~420X | ||||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機構(gòu)，帶顯示器支架 | ||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500萬像素，幀率 60fps，帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA/裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | |||
電力需求 | 220V/50HZ | ||||
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