VTPS-系列探針臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
IVTPS-系列探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓
測(cè)試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)精密,價(jià)格實(shí)惠,在高等院校 教學(xué)和
小型實(shí)驗(yàn)室科研過(guò)程中得到廣泛運(yùn)用。配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以用于
測(cè)試各類(lèi)器件的IV/CV,PIV,光電信號(hào)等。也可以放置于手套箱內(nèi),配合
特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實(shí)驗(yàn)室。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì),大大減小了設(shè)備的占地空間
具備自適應(yīng)減震系統(tǒng),一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾
U 型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì),不僅增大了針座的加載空間,還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力
詳細(xì)參數(shù):
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào) | IVTPS-100M | IVTPS-150M | IVTPS-200M | ||
探針臺(tái)本體 | 整機(jī)尺寸 (mm) | 450L*450W*520H | 500L*500W*520H | 550L*550W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | ||
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) , 一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾 | ||||
卡盤(pán)大小 | 4 英寸,360 度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | 6 英寸 ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ,可微調(diào) | 8 英寸,360 度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) | ||
卡盤(pán)行程和精度 | 4 英寸*4 英寸,精度 10um | 6 英寸*6 英寸 ,精度 10um | 8 英寸*8 英寸 ,精度 10um | ||
卡盤(pán)材質(zhì) | 鍍金,具備更小的接觸電阻 | ||||
卡盤(pán)吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片) | ||||
背電極測(cè)試功能 | 卡盤(pán)鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,帶4mm 香蕉頭插口,具備背電極功能 | ||||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U 型平臺(tái) ,鍍鎳 ,與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力,帶接地端子 | |||
大小 | 最多可放置4個(gè)探針座 | 最多可放置6個(gè)探針座 | 最多可放置8個(gè)探針座 | ||
顯示系統(tǒng) | 顯微鏡類(lèi)型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡(注意視場(chǎng))+CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 16X~200X/60X~420X | ||||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動(dòng) | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn),帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu),帶顯示器支架 | ||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬(wàn)/500萬(wàn)像素,幀率 60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類(lèi) | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口/SMA/裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/顯微鏡萬(wàn)向支架等 | |||
電力需求 | 220V/50HZ |