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晶圓測試探針臺

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晶圓測試探針臺

晶圓測試探針臺擁有4-6個轉(zhuǎn)塔的金相顯微鏡，可安裝4個金相物鏡。其放大倍數(shù)，根據(jù)所選物鏡的倍數(shù)，通常由20～2000X不等。該系統(tǒng)常用于極小微尺寸的待測點(diǎn)的測試或激光應(yīng)用中。

晶圓測試探針臺配置了兼顧剛性和精度的基座，可進(jìn)行X-Y-Z三方向的精密定位。簡單直接的操作方法，可讓用戶列加專注于測試測量應(yīng)用于中去，而不是探針臺的操作。
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晶圓測試探針臺
型號LJE-4LJE-6LJE-8LJE-12
外形580mm長*
620mm寬*
730mm高		640mm長*
700mm寬*
730mm高		660mm長*
660mm寬*
700mm高		1030mm長
*820mm寬*
730mm高
重量約70KG約80KG約85KG約180KG
電力需求220VC,50~60Hz
樣品臺尺寸4英寸，可360度旋轉(zhuǎn)6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
X-Y行程4英寸*4英寸6英寸*6英寸8英寸*8英寸12英寸*12英寸
Z軸行程6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)）
移動精度10um/1um
樣品固定方式真空吸附
背電極測試功能有，樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺U型平臺，最多可放置6個針座U型平臺，最多可放置8個針座U型平臺，最多可放置10個針座U型平臺，最多可放置12個針座
光學(xué)特性 顯微鏡行程X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
顯微鏡移動精度1um
切換鏡頭方式顯微鏡快速傾仰30度   
放大倍數(shù)16~100X/20~4000X
鏡頭規(guī)格目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
CCD像素50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機(jī)械精度10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度10pA/100fA     （配置屏蔽箱時）
接口形式香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。
可選附件 顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度）高低溫樣品臺光強(qiáng)/波長測試選件
顯微鏡氣動升降裝置屏蔽箱射頻測試附件
激光微加工轉(zhuǎn)接頭有源探頭
探針卡夾具防震臺低電流/電容測試
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強(qiáng)/波長測試接口部件鍍金卡盤兼容積分球測試選件
液晶漏電分析套裝同軸叁軸卡盤光纖夾具耦合測試選件
高壓/大電流測試套件樣品臺快速升降，微調(diào)升降裝置選件PCB/封裝夾具測試選件
加熱臺樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件特殊定制
特點(diǎn)1.顯微鏡龍門柱式設(shè)計，可使顯微鏡在平面內(nèi)移動。
2.顯微鏡可傾仰或氣動升降，便于更換物鏡。
3.可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用。
4.同軸驅(qū)動卡盤，移動精度高。

特點(diǎn)
緊湊的結(jié)構(gòu)同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
實惠的價格無回程差設(shè)計
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動1微米以上電極/PAD測試
高等院校/研究所/公司實驗室使用LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試
最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試材料/器件的IV/CV特性測試