型號(hào)

LJX-6

LJX-8

LJX-12

外形（W*D*H）

1000mm*1400mm*1400mm

1100mm*1500mm*1400mm

1200mm*1600mm*1400mm

重量

約1000KG

約1150KG

約1350KG

電力需求

AC220V，50~60Hz

CDA需求

0.4~0.8Mpa

Chuck

尺寸

6″

8″

12″

X-Y軸行程

200mm*300mm

250mm*400mm

350mm*500mm

X-Y軸移動(dòng)解析度

0.1μm

X-Y軸重定位精度

≤±1μm

X-Y移動(dòng)速度

≥70mm/sec

Z軸行程

20mm

Z軸移動(dòng)解析度

0.1μm

Z軸重定位精度

≤±1μm

Z軸移動(dòng)速度

≥20mm/sec

Theta角度行程

±10°

Theta角度解析度

0.0001°

樣品固定方式

Theta方向重復(fù)精度：1.75um，多孔真空吸附，獨(dú)立分開控制

更換樣品方式

Chuck快速拉出

結(jié)構(gòu)

三軸超低噪聲設(shè)計(jì)，鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空（chuck可作為背電極）

針座平臺(tái)

規(guī)格

O型平臺(tái)，最多可放置12個(gè)針座（不安裝八角盒時(shí)）

顯微鏡X-Y-Z

X-Y軸行程

2″* 2″

X-Y軸移動(dòng)解析度

0.1μm

X-Y軸重定位精度

≤±2μm

X-Y移動(dòng)速度

≥10mm/sec

Z軸行程

5″

Z軸移動(dòng)解析度

0.1μm

Z軸重定位精度

≤±1μm

Z軸移動(dòng)速度

≥10mm/sec

顯微鏡

變倍顯微鏡

15：1三檔變倍顯微鏡，可同時(shí)顯示低倍和中倍/高倍畫面，便于點(diǎn)針操作

相機(jī)

雙相機(jī)（200W或者500W 工業(yè)級(jí)數(shù)字相機(jī)）

點(diǎn)針規(guī)格

點(diǎn)針精度

10μm / 2μm / 0.7μm

X-Y-Z行程

13mm-13mm-13mm

漏電精度

10pA / 100fA / 10fA

接口形式

香蕉頭/同軸 /三軸/ SMA /SHV等 水平調(diào)節(jié)范圍≤5° 
   

固定方式

磁力吸附 / 真空吸附

溫控組件

溫度范圍

﹣60℃-200℃（標(biāo)準(zhǔn)）

溫控穩(wěn)定性

±0.1℃

溫控分辨率

0.01℃

升溫時(shí)間
  （12″卡盤）

﹣60℃至+25℃≤10分鐘
  +25℃至+200℃≤10分鐘

降溫時(shí)間
  （12″卡盤）

﹢200℃至+25℃≤12分鐘
  ﹢25℃ 至-60℃≤25分鐘

噪聲

＜60dB

加熱方式

低壓直流加熱/PID控制

制冷方式

壓縮機(jī)制冷

減震

減震方式

空氣薄膜減震系統(tǒng)，確保2000X放大時(shí)畫面不抖動(dòng)

震動(dòng)抑制

在運(yùn)動(dòng)過程中以及起始或者停止時(shí)能夠極快的速度保證設(shè)備的平穩(wěn)≤1S，提高測(cè)試效率。

系統(tǒng)屏蔽

EMI屏蔽

> 20 dB (typical) @ 1 kHz to 20GHz

光衰減

≥ 120 dB

光譜噪聲基底

≤ -150   dBVrms/rtHz

系統(tǒng)交流噪聲

≤ 15 mVp-p (≤ 1   GHz)

軟件功能

自動(dòng)測(cè)量和補(bǔ)償Wafer高度

可對(duì)儀表的輸入輸出參數(shù)進(jìn)行管理編程

可實(shí)時(shí)顯示測(cè)試結(jié)果

自動(dòng)align，校準(zhǔn)晶圓校水平

可對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行bin值劃分，判斷器件好壞

器件測(cè)試應(yīng)用獨(dú)立升級(jí)

自動(dòng)測(cè)量Die size及生成map圖

多系統(tǒng)集成迅速完成，可支持單點(diǎn)或連續(xù)測(cè)試

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存能力以及數(shù)據(jù)處理能力

任意wafer map 編輯

支持Z，N形等測(cè)試

自動(dòng)保存數(shù)據(jù)以及數(shù)據(jù)曲線，且數(shù)據(jù)可遠(yuǎn)程訪問

差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark

一鍵自動(dòng)校準(zhǔn)RF探針模塊，自動(dòng)清針功能

通訊接口：R232/485/TCP/IP/GPIB

可測(cè)光波長(zhǎng)：1260~1620mm

最小輻射直徑≤10um

最小模場(chǎng)直徑≤3um

射頻探針包含GS-GSS兩種類型，定位間距50um~1250um

可配備四象開爾文探針

操作系統(tǒng)與應(yīng)用分離；操作系統(tǒng)可獨(dú)立式升級(jí)，應(yīng)用獨(dú)立升級(jí)

特點(diǎn)：

可測(cè)試祼片級(jí)（單顆）、PCB板級(jí)、深腔內(nèi)部（深腔≥ 8mm)

具備IV、CV、PI等曲線測(cè)試能力

多倍率同時(shí)顯示光學(xué)系統(tǒng) (最大放大倍率720X）

具備RF射頻校準(zhǔn)功能

（-60~200℃）超低噪聲高低溫Chuck

可升級(jí)射頻測(cè)試 ，最高測(cè)試頻率超過67GHZ

功能豐富的測(cè)試軟件

可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試